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又过了一会儿,大家吃的差不多了,食堂的碗筷撤了下去。
林默抬手看了一眼腕表,时针正指向下午一点四十分。
他侧头对坐在斜后方的陈嘉诚递了一个眼神。
陈嘉诚跟了几个月,林默的想法,一个眼神就心领神会。
于是,陈嘉诚立刻放下手里的搪瓷杯,悄无声息地起身,从食堂侧门快步走了出去,出了门一路小跑拐上了通往芯片车间的水泥路。
林默收回目光,脸上重新挂着笑容,转头对着张停开口:
“张部,各位领导,饭吃好了,也歇够了,接下来咱们去看芯片生产线吧。”
张停听了这话,把杯子往桌面上一搁,笑呵呵地站起来。
“好啊,林默同志,可算是带咱们去看了。”
“我这一上午从产品阅兵到午饭,心里就惦记着你这条产线了,你倒好,压轴到这会儿才亮出来。”
旁边匡国梁也笑着接了一句:“部长,这就是压轴菜。”
“林默同志这是存心要给咱们一个惊喜,好东西不急着端,让咱们惦记着。”
“那是。”
“那确实要好好的看一看。”
“走吧!”
一行人你一句我一句笑呵呵地起身,鱼贯走出食堂。
从食堂到芯片车间大约走了六七分钟,拐过两个弯之后,一座崭新的建筑出现在视野里。
整体风格和厂区里灰扑扑的老砖房形成了鲜明的对比。
张停放慢脚步,抬头打量了一下外墙上嵌着的深灰色字牌。
“曙光电子研究中心”,下面一排小字标注着车间编号和建设年份。
“林默同志,这个芯片车间是新建的?”张停问了一句。
林默点头:“部长,是的,今年五月份才竣工。”
“其实原来厂里有一间旧电子车间,但环境等级达不到芯片生产的要求,温湿度控制,静电防护都没有条件满足。”
“芯片生产对洁净度的要求非常高,所以我们在原址旁边重新建了这一座,从地基到装修全部按照百级净化车间的标准设计。”
“前前后后投进去将近一百多万元,不过现在看来是值得的。”
“100多万投入一个新车间。”
“这可不是一般人能做的出来的,有魄力!”张停表扬道。
接着,一行人走到车间入口处。
首先看见的是一道银灰色的不锈钢门,门框上方装着一排指示灯,左侧挂着一块写着“进入车间前请穿戴无尘防护服”的提示牌。
陈嘉诚已经提前到了。
此刻正站在门厅里,手边整整齐齐码着一摞叠好的白色无尘服,旁边还有几双蓝色的鞋套和帽子。
林默侧身对张停说:“部长,各位领导,进入车间需要穿戴无尘防护服,还要过风淋门。”
“这是为了保证车间内的洁净度不受外部人员带入的灰尘影响。”
张停点了点头,伸手从陈嘉诚手里接过一套无尘服。
旁边几位司长和专家也各自穿戴起来。
有人不太熟悉这套流程,穿得有些笨拙,旁边的工作人员就上前低声提醒着“先套裤子”“帽子要把所有头发都罩进去”。
张停穿戴整齐后,左右看了看自己,又看了看林默,笑呵呵地评价了一句:
“这个防护做得非常不错。”
“我去年去无锡参观,他们也有类似的风淋门和无尘服,但细节上没有你们这里规整,连鞋套都是加厚的防静电材料。”
“林默同志,你这个心思花到位了。”
匡国梁在旁边把帽子系好,接了一句:
“是啊,芯片生产最怕的就是颗粒污染,一个不起眼的灰尘粒就可能毁了整片晶圆。”
“林默同志,你们曙光厂能把这一块做这么细致,说明你们团队对半导体工艺的理解是真正落到实处了。”
林默笑着点头,转身推开第一道门,示意大家进入风淋室。
风淋室是一条长约五米、宽两米的封闭走廊,两侧墙壁上密布着细小的气孔,头顶是几排强风喷嘴。
他按了一下入口处的绿色按钮。
走廊两侧的气孔同时喷射出高速气流,裹着细密的风声从四面八方裹过来,把人从头到脚吹了将近二十秒钟。
风淋结束,第二道门自动开启,一行人终于进入了芯片车间的主区域。
入眼的是一幅和外面厂区截然不同的景象。
地面是浅灰色的环氧树脂自流平,光洁如镜,能倒映出头顶日光灯管细长的轮廓。
一眼望去,整个车间纵深大约一百六十米,宽度五十米左右,净空高度四米有余,整个空间被灯光填满,没有一处死角。
从左到右依次排列着几台大型设备,湿法刻蚀机,光刻机主体,氧化扩散炉……
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