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这句话，让在场的众人不禁呆愣住了。
十纳米！？
这根本不是一个简单的数字。
这代表的是当今全球半导体制造工艺金字塔最顶端的第一梯队。
放眼当今世界，能拿出10纳米精度测试版图的国家，一只手绰绰有余。
而这一只手里……没有夏国。
林渊没有给任何人继续震惊的余裕。
他最后确认了一遍所有参数，指尖悬在启动键上方一瞬，随即按了下去。
“启动。”
一声低沉的电子提示音响过。
整台光刻机的指示灯阵列，由待机的冷蓝同步切换为运行的暖白。
光源模块率先启动，超导加速腔内的低温循环系统发出极其细微的嗡鸣，EUV光束在密封光路中完成了第一次脉冲输出。
大屏幕上，各项实时参数同步跳动。
光源功率、曝光剂量、工件台位移精度、对准偏差值……
所有数据，稳如泰山，绿得让人心安。
整个过程，全自动运行。
没有任何调试卡顿，没有任何参数需要临时修正。
从光束引出到掩模版对准，从曝光窗口移动到工件台步进换场，每一个环节都衔接得天衣无缝。
车间里的所有人，都下意识地屏住了呼吸。
几十双眼睛，死死盯着大屏幕上那些稳定跳动的绿色数字。
三十秒。
一分钟。
两分钟。
整个试刻流程没有出现任何中断。
当最后一组曝光序列完成，操控台弹出“工作完成”的绿色提示时，车间里依然鸦雀无声。
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