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北京,汉东,南湖展区中央,一座玻璃恒温箱内,静静陈列着一片12英寸硅晶圆。
显微投影将其电路放大千倍——38纳米线宽清晰可见,晶体管密度远超同期65nm产品。
全息屏上,HL-38i光刻机剖视图缓缓旋转,标注着:“中国首台自主38nm浸没式光刻机,分辨率≤38nm,套刻精度≤8nm”。
忽然,入口处一阵骚动。
比尔·盖茨缓步走入,西装笔挺,神情复杂。
紧随其后,黑色高领衫、牛仔裤的乔布斯双手插兜,目光如鹰隼般扫视那片晶圆。
两人对视一眼,竟罕见地微微点头——共同的震撼,让他们暂时放下恩怨。
随后,任政非、雷布斯、求白君等人鱼贯而入,彼此寒暄,眼中却都燃着同一种火焰:骄傲。
赵崇明站在展区中央,一身深灰西装,笑容温和:“感谢各位莅临汉东之夜。”
记者们看到这一幕一个个都是震撼万分。
赵崇明这个家伙,他又开始整大活了。
“各位!”赵崇明笑了笑:“这就是汉东省的光刻机,大家可以放心的欣赏,看看我们的技术到底是真的还是假的。”
环形全息屏幽蓝微光流转,3米高的虚拟空间内,HL-38i光刻机的1:1剖视图缓缓旋转。
镜头推进——193纳米ArF准分子激光从光源室射出,经十组高精度反射镜校正,精准聚焦于硅片表面;
双工件台以每秒200纳米的步进速度同步移动,误差控制在±2纳米以内;浸没式喷淋系统在镜头与晶圆间形成超纯水膜,提升分辨率至38纳米极限。
乔布斯站在最前排,双手插在牛仔裤口袋里,眉头紧锁。
库克则微微前倾,眼镜反着冷光,手指无意识地摩挲着腕表,说实话,此时此刻,库克是有一些紧张的,芯片对于手机来说这很重要。
赵崇明现在对他们来说就是断崖式领先。
如果他们追不上,就要被彻底甩开。
叫他们来,他们不得不来。
突然,全息画面切换。
不再是模拟动画,而是南湖园区地下洁净室的实时直播。
镜头对准一台银灰色巨型设备——正是HL-38i本体。
机械臂缓缓从曝光腔中移出一个晶圆传送盒,LED屏显示:“批次#20080808-T1,完成,良率76.3%。”
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